Ученые улучшили электронный нанолитограф для производства рентгеновской оптики

Исследователи сконструировали инновационную систему для выпуска российских составляющих рентгеновской и дифракционной оптики, опираясь на советский нанолитограф, выпуск которого был остановлен после расформирования Советского Союза.

Данная система разработана в рамках проекта, осуществляемого в объединенном государственно-коммерческом исследовательском центре Троицкого филиала ФИАН. В качестве основы была взята советская модель ZBA, разработанная государствами СЭВ в период с 1980-х по 1990-е годы. После прекращения её производства эксперты выполнили обновление устройства, применив современные технологические решения.

Наша разрабатываемая техника применяется для создания критически важных компонентов, в том числе элементов спектрометров и деталей для систем машинного зрения и микроскопии. Недавно были успешно изготовлены специализированные дифракционные решетки скользящего отражения с изменяющимся периодом, требуемые для дальнейшего развития в сфере рентгеновской оптики.

Электронно-лучевой метод, применяемый в установке, позволяет создавать высокоточные структуры с точностью до 200 нанометров и меньше, пользующиеся спросом как в научных кругах, так и в индустрии.

Обратите внимание: Водителей предупредили: с июля начнут лишать прав за эти нарушения