В Новосибирске создали приборы вакуумной микроэлектроники для экстремальных условий
В Новосибирском государственном техническом университете НЭТИ была разработана конструкция и технология производства приборов вакуумной микроэлектроники. В отличие от традиционных полупроводниковых устройств, в таких приборах электроны перемещаются не через полупроводник, а через вакуум. Данную информацию сообщает портал Компьютерра.
Одним из результатов проекта стал макет транзистора с вертикальным вакуумным каналом нанометрового размера (АДТВ). По своему принципу работы он напоминает старые электронные лампы, в которых электроны также перемещались через вакуум, однако новый прибор выполнен в компактном интегральном формате.
Вакуумный канал имеет наноразмеры, что позволяет интегрировать устройство в электронные схемы. Среди преимуществ АДТВ — простота конструкции, низкое пороговое напряжение, возможность функционирования при высоких температурах и устойчивость к радиации. Эти характеристики делают технологию перспективной для радиоэлектронной аппаратуры, предназначенной для работы в сложных условиях.
Специалисты НГТУ НЭТИ также занимаются разработкой вакуумного диода с наноразмерным зазором и наноантенной для терагерцового диапазона, а также вакуумного фотодиода с аналогичным зазором.
Экспериментальный образец вакуумного фотодиода уже создан. По информации университета, наноразмерный зазор позволяет уменьшить влияние пространственного заряда и увеличить туннельный ток. Это может быть использовано для улучшения характеристик оптических приборов и создания электронных детекторов излучения с терагерцовой частотой модуляции сигнала.
Кроме того, специалисты разработали методику изготовления интегральных электровакуумных диодов и триодов с вертикальным вакуумным каналом для терагерцового диапазона. Заявка на это изобретение уже подана в Роспатент.
В следующем году команда планирует разработать новые технологические процессы для производства таких устройств, подготовить маршруты изготовления прототипов приборов силовой вакуумной микроэлектроники и начать коммерциализацию технологии АДТВ.
